Приведены сведения о дефектах, существующих в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния. Рассмотрены микропоры, малоугловые границы и дефекты упаковки.
Проведен теоретический анализ механизмов кристаллизации нитрида галлия в процессе газофазной эпитаксии. Подробно рассмотрен процесс роста слоев в условиях ограничений в пограничном слое. Определены условия управления процессом и форсирования массопер...
Взаимодействие электромагнитного излучения с магнитно-функционализированным нанокомпозитом на основе углеродных нанотрубок (УНТ) рассмотрено в рамках модели случайного распределения ферромагнитных наночастиц в углеродной матрице, характеризуе...
Рассмотрены принципы и типы атомно-слоевого осаждения (АСО). Показано, что ACО востребовано благодаря своей точности на атомном уровне для контроля толщины и состава пленки. Представлены конструкции реакторов для быстрого и не требующего боль...
Проведено исследование влияния концентрации примеси в рабочем слое и объеме подложки на ток стока КНИ полевого датчика Холла средствами приборно-технологического моделирования в пакете Synopsys Sentaurus. Выполнена настройка численной модели путем со...
Разработаны алгоритм и методика расчета максимальных значений компонент выходного тока МОП-транзистора с индуцированным каналом n -типа в зависимости от топологических норм субмикронных и наноразмерных технологий для преобразователя частоты при налич...
Предложен новый тип двухэлектродного МДП-варикапа с переносом заряда. Показано, что в приборе данного типа отсутствуют отрицательные эффекты, связанные с процессами термогенерации и накопления неосновных носителей. Это позволяет повысить предельную ч...
Представлены результаты разработки и исследования характеристик микрозеркального элемента, приводимого в движение тепловыми микроактюаторами. Показано, что для расчета стрелы прогиба микрозеркального элемента необходимо учитывать распределение темпер...
Исследован алгоритм компенсации движения на основе блоков шестиугольной формы для видеокомпрессии. Полученное после компенсации движения разностное изображение сжималось с помощью алгоритма SPIHT, основанного на дискретном вейвлет-преобразовании. Экс...
Рассматривается синтез аналитических пространственных моделей траекторий, дающих возможность минимизировать состав измерительного комплекса и вычислительные затраты при решении задач навигации. Применение этих моделей позволяет аппроксимировать с зад...
Проанализированы энергетические характеристики распространения электромагнитных волн внутри зданий. Помещения представлены в виде объемных резонаторов прямоугольной формы, в которых возбуждаются многомодовые колебания. Получены простые расчетные соот...
Представлены результаты электронно-микроскопических исследований эпитаксиального слоя InAlAs на подложке GaAs(100). Установлено, что на границе раздела материалов присутствуют дислокации несоответствия, а в слое имеются остаточные деформации,...
Разработана и экспериментально исследована технология формирования отрицательного угла наклона толстой фоторезистивной маски для применения во «взрывной» литографии и для электрохимического осаждения металлов. Приведен возможный диапазон изменения пр...
Проведено сравнение уровня фазового шума источников СВЧ-колебаний, выполненных в виде одиночного автогенератора либо цепочки - низкочастотный автогенератор и умножитель частоты. Показано, что при выполнении определенных условий фазовый шум цепочки ок...