Предложен новый тип двухэлектродного МДП-варикапа с переносом заряда. Показано, что в приборе данного типа отсутствуют отрицательные эффекты, связанные с процессами термогенерации и накопления неосновных носителей. Это позволяет повысить предельную частоту и улучшить температурную стабильность работы варикапа. Рассмотрены две конструкции прибора. Экспериментально измеренные характеристики варикапов согласуются с результатами расчетов.
1. Вендик О.В., Парнес М.А. Фазовращатели сканирующих антенн для радаров обзора территорий // Компоненты и технологии. 2007. № 9. С. 164 – 166.
2. Bernie Siegal. The binary varactor – a new microwave device // Electronic Equipment News. – 1971. – Vol. 12. – № 10. – Р. 43–47.
3. Lloyd W. Hackley, Seminole Fla. Varactor tuning diode with inversion layer // US Pat. N. 4.903.086. – US. – Feb. 20. – 1990.
4. Петручук И.И., Спиридонов А.Б. МДП-варактор с переносом и инжекцией заряда // Электронная техника. Сер.10. Микроэлектронные устройства. – 1979. – Вып. 2 (14). – С. 32–43.
5. Сурин Ю.В., Петручук И.И., Нечипоренко В.С., Сурин М.Ю., Лицоев С.В. МДП-варикап с переносом заряда // Патент на полезную модель №100333, RU, МПК H01L 2900 (2006.01). – Опубл. 2010, бюл. №34.
6. Сурин Ю.В., Петручук И.И., Спиридонов А.Б., Мартынова В.П., Лицоев С.В. Ва-рикап // Патент на полезную модель №114807, RU, МПК H01L 2992 (2006.01). – Опубл. 2012, бюл. №10.
7. Зи С.М. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984. – 456 с.
8. Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран / Н.С. Землянников, Н.Л. Данилова, В.В. Панков и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 4. – С. 32–36.