A new type of the two-electrode MIS varicap - varicap with the charge transfer - has been proposed. It has been shown that in the device of the given type the negative effects, related to the processes of thermal generation and the accumulation of minority carriers, are absent, which enables to increase the limiting frequency and to improve the temperature stability of the varicap operation. Two device constructions have been considered. The experimentally measured characteristics of varicaps match the calculations results.
1. Вендик О.В., Парнес М.А. Фазовращатели сканирующих антенн для радаров обзора территорий // Компоненты и технологии. 2007. № 9. С. 164 – 166.
2. Bernie Siegal. The binary varactor – a new microwave device // Electronic Equipment News. – 1971. – Vol. 12. – № 10. – Р. 43–47.
3. Lloyd W. Hackley, Seminole Fla. Varactor tuning diode with inversion layer // US Pat. N. 4.903.086. – US. – Feb. 20. – 1990.
4. Петручук И.И., Спиридонов А.Б. МДП-варактор с переносом и инжекцией заряда // Электронная техника. Сер.10. Микроэлектронные устройства. – 1979. – Вып. 2 (14). – С. 32–43.
5. Сурин Ю.В., Петручук И.И., Нечипоренко В.С., Сурин М.Ю., Лицоев С.В. МДП-варикап с переносом заряда // Патент на полезную модель №100333, RU, МПК H01L 2900 (2006.01). – Опубл. 2010, бюл. №34.
6. Сурин Ю.В., Петручук И.И., Спиридонов А.Б., Мартынова В.П., Лицоев С.В. Ва-рикап // Патент на полезную модель №114807, RU, МПК H01L 2992 (2006.01). – Опубл. 2012, бюл. №10.
7. Зи С.М. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984. – 456 с.
8. Тензорезистивные преобразователи давления на основе сложнопрофилированных кремниевых мембран / Н.С. Землянников, Н.Л. Данилова, В.В. Панков и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 4. – С. 32–36.