Рассмотрены принципы и типы атомно-слоевого осаждения (АСО). Показано, что ACО востребовано благодаря своей точности на атомном уровне для контроля толщины и состава пленки. Представлены конструкции реакторов для быстрого и не требующего больших материальных затрат роста пленок.