Представлены результаты разработки и исследования характеристик микрозеркального элемента, приводимого в движение тепловыми микроактюаторами. Показано, что для расчета стрелы прогиба микрозеркального элемента необходимо учитывать распределение температуры перегрева по длине элемента. Выполнен расчет температуры перегрева, определена эффективная температура перегрева и проведено сравнение полученных значений с экспериментальными данными.
1. Design and preliminary implementation of an NN diffractive all-optical fiber optic switch / B. Lynn, Blanche, Miles P.-A., Wissinger A. et al. // Lightwave Technology. 2013. Dec. 15. Vol. 31. N. 24. Р. 40164021.
2. Li Li, Ran Li, Lubeigt W., Uttamchandani D. Design, simulation, and characterization of a bimorph varifocal micromirror and its application in an optical imaging system // Microelectromechanical Systems J. 2013. April. Vol. 22. N. 2. P. 285294.
3. Sasaki T., Hane K. Varifocal micromirror integrated with comb-drive scanner on silicon-on-insulator wafer // Microelectromechanical Systems. 2012. Aug. Vol. 21. N. 4. Р. 971980.
4. A large rotational angle micromirror based on hypocycloidal electrothermal actuators for endoscopic imaging / Mu Xiaojing, Xu Yingshun, J.Singh et al. // Optical MEMS and Nanophotonics (OPT MEMS), 2010 International Conference on. (912 Aug. 2010). 2010. Р. 23, 24.
5. Output characteristics of Q-switched solid-state lasers using intracavity MEMS micromirrors / R. Bauer, A. Paterson, C. Clark et al. // IEEE J. of Selected Topics in Quantum Electronics. 2015. Jan. Feb. Vol. 21. N. 1. Р. 18.
6. Drift-free micromirror arrays made of monocrystalline silicon for adaptive optics applica-tions / M. Lapisa, F. Zimmer, G. Stemme et al. // Microelectromechanical Systems. 2012. Aug. Vol. 21. N. 4. Р. 959970.
7. Расчет и экспериментальное исследование температурной зависимости угла откло-нения элемента микрозеркала // С.П. Тимошенков, С.С. Евстафьев, И.М. Бритков и др. // Изв. вузов. Электроника. 2014. № 3 (107). С. 4349.
8. Исаченко В.П., Осипова В.А., Сукомел А.С. Теплопередача: учеб. для вузов. 3-е изд., перераб. и доп. М.: Энергия. 1975. 488 с.
9. Ильин В.А., Позняк Э.Г. Линейная алгебра: учеб. для вузов. 6-е изд., стер. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2004. 280 с.
10. Физическая энциклопедия: в 5 т. Т. 3. М.: Большая российская энциклопедия, 1992. С. 369.