Персоналии
инженер кафедры микроэлектроники МИЭТ. Область научных интересов: электростатические двигатели, микрозеральные оптические системы, робототехнические системы.
Статьи автора
Представлены результаты разработки и исследования характеристик микрозеркального элемента, приводимого в движение тепловыми микроактюаторами. Показано, что для расчета стрелы прогиба микрозеркального элемента необходимо учитывать распределение температуры перегрева по длине элемента. Выполнен расчет температуры перегрева, определена эффективная температура перегрева и проведено сравнение полученных значений с экспериментальными данными.
- Просмотров: 1411 | Комментариев : 0