Наноразмерное состояние для многих веществ существенным образом отличается от массивного состояния. При формировании массивов наночастиц серебра путем конденсации на холодную подложку исходный конденсат нестабилен. Для формирования стабильных массивов с формой, близкой к сферической, требуется последующая слабая термообработка. В работе показано поведение массива наночастиц серебра при низкотемпературном отжиге. С помощью атомно-силовой микроскопии исследована эволюция массива наночастиц серебра, сформированного на поверхности SiO методом вакуум-термического испарения на ненагретую подложку в процессе in-situ нагрева до температуры 200 °С. Получена качественная оценка влияния температуры на геометрию массивов наночастиц. Экспериментально показано, что резкое укрупнение наночастиц серебра и уменьшение их количества на поверхности имеют место в узком интервале температур 75-100 °С, а в интервале температур 100-200 °С заметных изменений в массиве наночастиц серебра не происходит. После проведения статистической обработки полученных данных определены средние размеры формируемых частиц и их плотность на единицу площади на каждом из этапов эксперимента. Получены соответствующие зависимости.
Рассмотрено формирование углеродных наноструктур методом химического осаждения из газовой фазы с использованием плазмы тлеющего разряда. Исследования проводились в диапазоне температур 300-700 °С. Изучено влияние толщины пленки Ni катализатора и концентрации углеродсодержащего компонента в газовой фазе на структуру углеродного осадка. Получен воспроизводимый рост массива однородных вертикальных нанотрубок или графеновых чешуек при низкой температуре ~350 °С. Исследованы электрофизические свойства полученных структур.
Продемонстрирована возможность роста углеродных нанотрубок методом химического осаждения из ацетилена при температуре процесса 400-800 °С на поверхности металлической пленки аморфного сплава Ni-Ta-N c низким содержанием никеля (~25 ат.%). Показано, что добавление азота в состав сплава Ni-Ta способствует образованию нитрида тантала и выдавливанию на поверхность кластеров никеля, выступающих в роли катализатора при росте углеродных нанотрубок. В результате исследования с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния получено, что при повышении температуры процесса синтеза качество нанотрубок улучшается.