Термическая стабилизация геометрических параметров массива наночастиц серебра, полученного вакуум-термическим испарением на ненагретую подложку

Термическая стабилизация геометрических параметров массива наночастиц серебра, полученного вакуум-термическим испарением на ненагретую подложку

Наноразмерное состояние для многих веществ существенным образом отличается от массивного состояния. При формировании массивов наночастиц серебра путем конденсации на холодную подложку исходный конденсат нестабилен. Для формирования стабильных массивов с формой, близкой к сферической, требуется последующая слабая термообработка. В работе показано поведение массива наночастиц серебра при низкотемпературном отжиге. С помощью атомно-силовой микроскопии исследована эволюция массива наночастиц серебра, сформированного на поверхности SiO методом вакуум-термического испарения на ненагретую подложку в процессе in-situ нагрева до температуры 200 °С. Получена качественная оценка влияния температуры на геометрию массивов наночастиц. Экспериментально показано, что резкое укрупнение наночастиц серебра и уменьшение их количества на поверхности имеют место в узком интервале температур 75-100 °С, а в интервале температур 100-200 °С заметных изменений в массиве наночастиц серебра не происходит. После проведения статистической обработки полученных данных определены средние размеры формируемых частиц и их плотность на единицу площади на каждом из этапов эксперимента. Получены соответствующие зависимости.
Дмитрий Геннадьевич Громов
Национальный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия
Сергей Владимирович Дубков
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Георгий Спартакович Ерицян
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия; НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Андрей Иванович Савицкий
Национальный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия; НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Виктор Александрович Быков
НТ-МДТ, г. Москва, Россия; Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет), г. Москва, Россия
Юрий Александрович Бобров
НТ-МДТ, г. Москва, Россия
Поделиться