.: Публикации журнала :.

Технологические процессы

Обоснование перечня маркерных загрязняющих веществ микроэлектронного производства

Авторы: Рябышенков Андрей Сергеевич, Каракеян Валерий Иванович, Харламов Николай Романович, Чудакова Мария Александровна

135 - 142

Исследование адгезионной прочности функциональных слоев фотошаблонов и фотошаблонных заготовок с проектными нормами 90–65 нм

Авторы: Аникин Андрей Владимирович

143 - 157

Формирование осесимметричных структур в диоксиде кремния методом фокусированного ионного пучка в краевом режиме построчного сканирования

Авторы: Румянцев Александр Владимирович, Боргардт Николай Иванович, Волков Роман Леонидович

158 - 167

Схемотехника и проектирование

Использование многозначных и бинарных диаграмм решений при синтезе схем модулярных умножителей

Авторы: Бибило Петр Николаевич, Романов Владимир Ильич

168 - 187

Расчет показателей надежности радиолокационной станции мониторинга космического пространства для разных этапов эксплуатации

Авторы: Загер Игорь Борисович, Шафир Роман Сергеевич, Перлов Анатолий Юрьевич, Веретенников Кирилл Игоревич, Марков Антон Александрович, Калеев Дмитрий Вячеславович

188 - 198

Информационно-коммуникационные технологии

Способ бесконтактного управления роботом-манипулятором на основе активного отслеживания и адаптивного распознавания жестов

Авторы: Кульминский Данил Дмитриевич , Шипатов Евгений Андреевич, Сотников Александр Васильевич , Шипатов Андрей Владимирович

199 - 211