Обоснование перечня маркерных загрязняющих веществ микроэлектронного производства

Раздел находится в стадии актуализации

Микроэлектронное производство характеризуется сложными технологическими процессами, которые приводят к выбросам опасных загрязняющих веществ, что оказывает значительное воздействие на человека и окружающую среду. В работе предложен алгоритм, основанный на применении наилучших доступных технологий и определении маркерных загрязняющих веществ для эффективного и экономически обоснованного экологического контроля. Исследованы выбросы в атмосферу загрязняющих веществ от работы предприятий микроэлектроники, расположенных в г. Зеленограде. Обоснован перечень маркерных загрязняющих веществ микроэлектронного производства (N,N-диметилформамид, фториды газообразные и аммиак), каждое из которых составляет более 10 % от общей массы приведенных выбросов и присутствует в выбросах постоянно. Полученные результаты могут применяться при разработке рекомендаций в области экологического контроля, в том числе для его оптимизации, а также при формировании научно обоснованной базы для информационно-технических справочников по наилучшим доступным технологиям в области микроэлектроники.

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru