Персоналии

Энергоемкость системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений - важный показатель конкурентоспособности микроэлектронной отрасли. Предлагаемый подход позволяет на основе различных схем формирования аэродинамического режима адекватно оценить термодинамическое совершенство системы путем составления эксергетических балансов потока вещества и определения потерь в ней эксергии. Это служит объективной предпосылкой оптимизации аппаратно-технологического решения по критерию энергоемкости. Сопоставление удельных эксергетических потоков в элементах системы позволяет установить участки, подлежащие улучшению. Предложено в качестве показателя оценки экономического уровня системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений использовать стоимостное содержание эксергии, поскольку термодинамические показатели качества системы - необходимое, но недостаточное условие для принятия окончательного схемного решения. Термоэкономическим критерием для выбора технологической схемы служит минимум целевой функции минимизации стоимости единицы удельной эксергии воздуха. На основе эксергетического анализа и посредством построения диаграмм эксергетических и стоимостных показателей системы определен критерий наиболее эффективного обеспечения технологического микроклимата чистых производственных помещений в зависимости от внешних условий. Расчетным путем показано, что термодинамический и термоэкономический оптимумы в анализируемых системах в основном совпадают. Таким образом, термодинамический подход выявляет неэффективные элементы системы кондиционирования воздуха по уровню удельной эксергии, а термоэкономический анализ позволяет определить целесообразность использования дополнительных аппаратно-технологических компонентов исследуемой системы.

• Просмотров: 1651 | Комментариев : 0

Система воздухообмена в чистых помещениях представляет собой сложный технологический комплекс. Одним из важнейших компонентов данного комплекса является система удаления воздуха чистых помещений. Система удаления воздуха в значительной степени определяет экологическую эффективность всего комплекса жизнеобеспечения чистых помещений. Для принятия решения по структуре и конфигурации системы в работе предложен эксергетический подход термодинамического анализа, а критерием воздействия на окружающую среду - значение удельной эксергии выброса. Приведена структурно-функциональная схема системы, на основании которой составлены эксергетические балансы, определены потери удельной эксергии и КПД в основных ее элементах при разных схемах организации выбросов. Установлено, что прямое удаление воздуха при термодинамическом преимуществе относительно системы удаления воздуха с дополнительной очисткой менее благоприятно для окружающей среды ввиду значительного уровня эксергии выбросов как фактора, определяющего возможность протекания физико-химических процессов в окружающей среде, приводящих к экологическому ущербу. На основе расчетов показана правомерность применения эксергии как объективного и универсального единого показателя, связывающего термодинамические и экологические качества системы. Практическое значение подхода - в установлении важных взаимосвязей между разными аспектами проектирования, эксплуатации систем жизнеобеспечения чистых помещений микроэлектроники и разработке мероприятий по снижению загрязнения окружающей среды за счет уменьшения эксергии выбросов.

• Просмотров: 1153 | Комментариев : 0

• Просмотров: 291 | Комментариев : 0

В современной системе обеспечения безопасного производства процедура оценки и управления профессиональными рисками как вероятностью причинения ущерба здоровью при выполнении трудовых обязанностей приобрела для предприятий микроэлектроники обязательный характер. Эта процедура предусматривает применение системных методов идентификации, мониторинга и анализа риска, фиксации полученных результатов, их интерпретацию и составление необходимой отчетности. В работе выполнен анализ рисков в технологических помещениях на предприятии микроэлектроники. Предложены корректирующие организационные мероприятия, позволяющие минимизировать вероятность возникновения опасного события и последующий ущерб. Процедура оценки профессиональных рисков осуществлена методом Файна - Кинни. Данный метод является наиболее информативным и учитывает тяжесть происшествия, а также его экономические последствия для предприятия. Установлено, что источники значительного риска в основном связаны с недостатками в планировке помещений, нарушением сроков лицензирования на работу с рентгеновским оборудованием, отсутствием вытяжной вентиляции, морально устаревшей системой сбора отработанной шлифовальной суспензии. Устранение этих недостатков дает возможности для понижения класса опасности профессиональных рисков и пересмотра тарифов в сторону их уменьшения.

• Просмотров: 1529 | Комментариев : 0

Применение в чистых помещениях химических веществ, большая часть которых агрессивна и токсична, требует анализа системы удаления воздуха не только с функционально обусловленных, но и с энергоэкологических позиций. В работе исследована возможность применения методологии энергоэкологического анализа для сравнения экологичности различных систем удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике. Показано, что прямое удаление воздуха при термодинамическом преимуществе перед системой с очисткой менее благоприятно для окружающей среды в связи со значительным уровнем экологического индекса, отражающего потенциальный экономический ущерб атмосфере от выбросов. Установлены загрязнители, доминирующие в составе выбросов и определяющие обоснованность решения по структуре системы удаления воздуха чистого помещения, учитывающей эколого-экономические и медико-биологические аспекты ее эксплуатации.

• Просмотров: 1399 | Комментариев : 0

Предложена методика неразрушающего контроля тепловых потоков через ограждающие конструкции зданий и сооружений. Приведены результаты компьютерной и аналитической оценки погрешности измерений. Методика может широко применяться при тепловом обследовании различных объектов.

• Просмотров: 1251 | Комментариев : 0