Применение в чистых помещениях химических веществ, большая часть которых агрессивна и токсична, требует анализа системы удаления воздуха не только с функционально обусловленных, но и с энергоэкологических позиций. В работе исследована возможность применения методологии энергоэкологического анализа для сравнения экологичности различных систем удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике. Показано, что прямое удаление воздуха при термодинамическом преимуществе перед системой с очисткой менее благоприятно для окружающей среды в связи со значительным уровнем экологического индекса, отражающего потенциальный экономический ущерб атмосфере от выбросов. Установлены загрязнители, доминирующие в составе выбросов и определяющие обоснованность решения по структуре системы удаления воздуха чистого помещения, учитывающей эколого-экономические и медико-биологические аспекты ее эксплуатации.
1. Гаврилин В.А., Каракеян В.И., Рябышенков А.С. Оценка эффективности системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений с учетом термодинамических параметров // Изв. вузов. Электроника. 2018. Т. 23. № 2. С. 133–140.
2. Казаков Р.А., Дарда И.В., Зволинский В.П. Основы теоретического анализа энергетической и экологической эффективности металлургических предприятий // Современные проблемы науки и образования. 2012. № 4. C. 38–43.
3. Каракеян В.И., Гундарцев М.А. Эксергетический анализ системы воздухообмена в чистых помещениях // Изв. вузов. Электроника. 2019. Т. 24. № 6. С. 573–580.
4. Каракеян В.И. Экономика природопользования: учеб. для академического бакалавриата. 2-е изд., испр. и доп. М.: Юрайт, 2016. 478 с.
5. Тхеин Хтут У., Пьо Тху, Гаврилин В.А. Анализ системы фильтрации чистых помещений высокотехнологичных производств // Экологические системы и приборы. 2019. № 4. С. 44–48.
6. Тхеин Хтут У., Пьо Тху, Шараева В.П. Анализ системы фильтрации чистых помещений высокотехнологичных производств // Экология и безопасность жизнедеятельности: сб. ст. XVIII Междунар. науч.-прак. конф. (20–21 декабря 2018 г.). Пенза: РИО ПГАУ, 2018. С. 300–302.
7. Гундарцев М.А., Гундарцев А.А., Константинова А.А. Построение полей рассеивания вредных примесей от промышленных предприятий // Промышленные АСУ и контроллеры. 2021. №1. С 14–20. DOI: 10.25791/asu.1.2021.1248
8. Pleshko E.S., Riabyshenkov A.S., Gundartcev M.A., Nikulina I.M. Modeling the distribution of impurities in the atmosphere from the stationary point source // Proc. of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (Moscow – St. Petersburg, Russia, January 27–30, 2020). 2020. P. 2483–2485.
9. Захаров А.Н., Пьо Тху. Энергоэффективность многоступенчатой системы фильтрации чистых помещений // Тез. докл. Междунар. науч.-техн. конф. «Техногенная энергобезопасность и энергоресурсосбережение» (Москва, 05 июля 2018 г.). М.: МИЭЭ, 2018. С. 113–114.
10. Пьо Тху, Рябышенков А.С. Анализ системы кондиционирования и фильтрации воздуха в чистых помещениях микроэлектроники // Экологические системы и приборы. 2018. № 9. С. 22–29.