Применение методологии энергоэкологического анализа для исследования системы удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике

Применение методологии энергоэкологического анализа для исследования системы удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике

Применение в чистых помещениях химических веществ, большая часть которых агрессивна и токсична, требует анализа системы удаления воздуха не только с функционально обусловленных, но и с энергоэкологических позиций. В работе исследована возможность применения методологии энергоэкологического анализа для сравнения экологичности различных систем удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике. Показано, что прямое удаление воздуха при термодинамическом преимуществе перед системой с очисткой менее благоприятно для окружающей среды в связи со значительным уровнем экологического индекса, отражающего потенциальный экономический ущерб атмосфере от выбросов. Установлены загрязнители, доминирующие в составе выбросов и определяющие обоснованность решения по структуре системы удаления воздуха чистого помещения, учитывающей эколого-экономические и медико-биологические аспекты ее эксплуатации.
Гундарцев Михаил Александрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Каракеян Валерий Иванович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Рябышенков Андрей Сергеевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Шараева Валерия Павловна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Поделиться