Применение методологии энергоэкологического анализа для исследования системы удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике

Применение методологии энергоэкологического анализа для исследования системы удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике

Применение в чистых помещениях химических веществ, большая часть которых агрессивна и токсична, требует анализа системы удаления воздуха не только с функционально обусловленных, но и с энергоэкологических позиций. В работе исследована возможность применения методологии энергоэкологического анализа для сравнения экологичности различных систем удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике. Показано, что прямое удаление воздуха при термодинамическом преимуществе перед системой с очисткой менее благоприятно для окружающей среды в связи со значительным уровнем экологического индекса, отражающего потенциальный экономический ущерб атмосфере от выбросов. Установлены загрязнители, доминирующие в составе выбросов и определяющие обоснованность решения по структуре системы удаления воздуха чистого помещения, учитывающей эколого-экономические и медико-биологические аспекты ее эксплуатации.
Михаил Александрович Гундарцев
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Валерий Иванович Каракеян
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Андрей Сергеевич Рябышенков
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Валерия Павловна Шараева
Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Поделиться