Персоналии

Описаны основные концептуальные проблемы при проектировании и эксплуатации отечественной и зарубежной инфраструктуры чистых помещений высокотехнологических производств. Разработана эффективная концепция технологической экологии микроэлектроники, направленная на защиту предмета труда от негативного влияния внутрипроизводственной среды системой кондиционирования воздуха. Проведен детальный анализ многолетнего опыта эксплуатации чистых помещений различных классов. Разработана и обоснована концепция технологической экологии микроэлектроники на основе системного анализа различных аспектов функционирования чистых помещений для микроэлектроники.

• Просмотров: 1448 | Комментариев : 0

Энергоемкость системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений - важный показатель конкурентоспособности микроэлектронной отрасли. Предлагаемый подход позволяет на основе различных схем формирования аэродинамического режима адекватно оценить термодинамическое совершенство системы путем составления эксергетических балансов потока вещества и определения потерь в ней эксергии. Это служит объективной предпосылкой оптимизации аппаратно-технологического решения по критерию энергоемкости. Сопоставление удельных эксергетических потоков в элементах системы позволяет установить участки, подлежащие улучшению. Предложено в качестве показателя оценки экономического уровня системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений использовать стоимостное содержание эксергии, поскольку термодинамические показатели качества системы - необходимое, но недостаточное условие для принятия окончательного схемного решения. Термоэкономическим критерием для выбора технологической схемы служит минимум целевой функции минимизации стоимости единицы удельной эксергии воздуха. На основе эксергетического анализа и посредством построения диаграмм эксергетических и стоимостных показателей системы определен критерий наиболее эффективного обеспечения технологического микроклимата чистых производственных помещений в зависимости от внешних условий. Расчетным путем показано, что термодинамический и термоэкономический оптимумы в анализируемых системах в основном совпадают. Таким образом, термодинамический подход выявляет неэффективные элементы системы кондиционирования воздуха по уровню удельной эксергии, а термоэкономический анализ позволяет определить целесообразность использования дополнительных аппаратно-технологических компонентов исследуемой системы.

• Просмотров: 1695 | Комментариев : 0

Исследована возможность применения эксергетического метода термодинамического анализа как средство мониторинга энергоэффективности системы воздухоподготовки чистых помещений. Повышение энергоэффективности можно достичь за счет тщательного термодинамического анализа затрат энергии при изменении состояния воздушного потока в системе кондиционирования и фильтрации воздуха. Использована математическая модель системы кондиционирования воздуха с рециркуляционным контуром. Проведены оценки эксергетической эффективности в выбранной системе кондиционирования и потерь эксергии в основных ее элементах в зависимости от различных факторов. Получена диаграмма Грассмана потоков и потерь эксергии для выбранной системы кондиционирования в теплый и холодный периоды года. Применение эксергетического анализа позволяет определить основные способы уменьшения энергетических потерь и выбрать оптимальный вариант схемного решения системы кондиционирования и фильтрации воздуха.

• Просмотров: 2551 | Комментариев : 0

Система воздухообмена в чистых помещениях представляет собой сложный технологический комплекс. Одним из важнейших компонентов данного комплекса является система удаления воздуха чистых помещений. Система удаления воздуха в значительной степени определяет экологическую эффективность всего комплекса жизнеобеспечения чистых помещений. Для принятия решения по структуре и конфигурации системы в работе предложен эксергетический подход термодинамического анализа, а критерием воздействия на окружающую среду - значение удельной эксергии выброса. Приведена структурно-функциональная схема системы, на основании которой составлены эксергетические балансы, определены потери удельной эксергии и КПД в основных ее элементах при разных схемах организации выбросов. Установлено, что прямое удаление воздуха при термодинамическом преимуществе относительно системы удаления воздуха с дополнительной очисткой менее благоприятно для окружающей среды ввиду значительного уровня эксергии выбросов как фактора, определяющего возможность протекания физико-химических процессов в окружающей среде, приводящих к экологическому ущербу. На основе расчетов показана правомерность применения эксергии как объективного и универсального единого показателя, связывающего термодинамические и экологические качества системы. Практическое значение подхода - в установлении важных взаимосвязей между разными аспектами проектирования, эксплуатации систем жизнеобеспечения чистых помещений микроэлектроники и разработке мероприятий по снижению загрязнения окружающей среды за счет уменьшения эксергии выбросов.

• Просмотров: 1192 | Комментариев : 0

• Просмотров: 373 | Комментариев : 0

В современной системе обеспечения безопасного производства процедура оценки и управления профессиональными рисками как вероятностью причинения ущерба здоровью при выполнении трудовых обязанностей приобрела для предприятий микроэлектроники обязательный характер. Эта процедура предусматривает применение системных методов идентификации, мониторинга и анализа риска, фиксации полученных результатов, их интерпретацию и составление необходимой отчетности. В работе выполнен анализ рисков в технологических помещениях на предприятии микроэлектроники. Предложены корректирующие организационные мероприятия, позволяющие минимизировать вероятность возникновения опасного события и последующий ущерб. Процедура оценки профессиональных рисков осуществлена методом Файна - Кинни. Данный метод является наиболее информативным и учитывает тяжесть происшествия, а также его экономические последствия для предприятия. Установлено, что источники значительного риска в основном связаны с недостатками в планировке помещений, нарушением сроков лицензирования на работу с рентгеновским оборудованием, отсутствием вытяжной вентиляции, морально устаревшей системой сбора отработанной шлифовальной суспензии. Устранение этих недостатков дает возможности для понижения класса опасности профессиональных рисков и пересмотра тарифов в сторону их уменьшения.

• Просмотров: 1578 | Комментариев : 0

Применение в чистых помещениях химических веществ, большая часть которых агрессивна и токсична, требует анализа системы удаления воздуха не только с функционально обусловленных, но и с энергоэкологических позиций. В работе исследована возможность применения методологии энергоэкологического анализа для сравнения экологичности различных систем удаления воздуха чистых помещений в микроэлектронике. Показано, что прямое удаление воздуха при термодинамическом преимуществе перед системой с очисткой менее благоприятно для окружающей среды в связи со значительным уровнем экологического индекса, отражающего потенциальный экономический ущерб атмосфере от выбросов. Установлены загрязнители, доминирующие в составе выбросов и определяющие обоснованность решения по структуре системы удаления воздуха чистого помещения, учитывающей эколого-экономические и медико-биологические аспекты ее эксплуатации.

• Просмотров: 1441 | Комментариев : 0