Описаны основные концептуальные проблемы при проектировании и эксплуатации отечественной и зарубежной инфраструктуры чистых помещений высокотехнологических производств. Разработана эффективная концепция технологической экологии микроэлектроники, направленная на защиту предмета труда от негативного влияния внутрипроизводственной среды системой кондиционирования воздуха. Проведен детальный анализ многолетнего опыта эксплуатации чистых помещений различных классов. Разработана и обоснована концепция технологической экологии микроэлектроники на основе системного анализа различных аспектов функционирования чистых помещений для микроэлектроники.
1. Долгушев А.И., Каракеян В.И., Ушаков В.И. Научная концепция технологической экологии интегральной электроники // Электронная промышленность. – 1988. – Вып. 10(178). – С. 3–5.
2. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Ивченко А.О. Теоретическое обоснование и разработка систем контроля микропримесей в воздухе // Экологические приборы и системы. – 2012. – №2. – С. 15–17.
3. Одинокова Е.В., Панфилов Ю.В., Юрченко П.И. Перспективы получения нано-метровой шероховатости поверхности ионно-лучевым способом // Инженерный журнал: наука и инновации. – Электронное научно-технологическое издание. – 2013. – №6(18). – URL: engjournal.ru (дата обращения: 20.10.2015).
4. Прецизионное кондиционирование воздуха в чистых помещениях / В.И. Каракеян, В.И. Ушаков, В.М. Редин и др.; под ред. В.И.Ушакова. – М. :МИЭТ, 1988. – 68 с.
5. Каракеян В.И., Редин В.М., Терещенко А.М., Осипова Н.В. Аэродинамические режимы в чистых производственных помещениях и пылегенерация динамичных филь-тров // Электронная промышленность. – 1995. – № 4–5. – С. 16–18.
6. Федотов А.Е. Чистые помещения. – 2-е изд. – М.: Асинком, 2003. – 576 с.
7. Чистые помещения / Под ред. И.Хаякава: пер. с япон. под ред. В.Г. Ржанова, В.И. Ушакова. – М.: Мир, 1990. – 456 с.
8. Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации. – М.: Клинрум, 2008. – 304 с.
9. Проектирование чистых помещений / Под ред. В.Уайта: пер. с англ. – М.: Клин-рум, 2004. – 360 с.
10. Каракеян В.И., Дисветова Н.М. Функционально-экологичекий анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений: методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем: сб. науч. тр. / Под ред. В.И. Каракеяна. – М.: МИЭТ, 2014. – С. 53–59.