1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 586.36: 628.8Технология микро- и наноэлектроникиSystem Analysis of Clean Rooms Functioning for MicroelectronicsСистемный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроникиРябышенков Андрей СергеевичРябышенковАндрей СергеевичRiabyshenkovAndrey S.Andrey S. RiabyshenkovНациональный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия218223http://ivuz-e.ru/issues/3-_2016/sistemnyy_analiz_funktsionirovaniya_chistykh_pomeshcheniy_dlya_mikroelektroniki/http://ivuz-e.ru/download/3_2016_1697.pdf

The basic conceptual problems in design and operation of domestic and foreign-tech infrastructure of the clean rooms industries have been described. The purpose of this work is to develop an efficient concept of the ecology microelectronic technology aimed at protecting the subject of work from the negative impact of the in-plant environment with air conditioning. A detailed analysis of the long-term experience of operation of clean rooms of various classes has been conducted. The concept of the environmental technology in microelectronics has been developed and proved based on a systematic analysis of the various aspects of clean rooms functioning for microelectronics.

Описаны основные концептуальные проблемы при проектировании и эксплуатации отечественной и зарубежной инфраструктуры чистых помещений высокотехнологических производств. Разработана эффективная концепция технологической экологии микроэлектроники, направленная на защиту предмета труда от негативного влияния внутрипроизводственной среды системой кондиционирования воздуха. Проведен детальный анализ многолетнего опыта эксплуатации чистых помещений различных классов. Разработана и обоснована концепция технологической экологии микроэлектроники на основе системного анализа различных аспектов функционирования чистых помещений для микроэлектроники.

технологическая экологиямикроэлектроникавнутрипроизводственная средачистые помещениясистема кондиционирования воздухаэффективность функционирования Долгушев А.И., Каракеян В.И., Ушаков В.И. Научная концепция технологической экологии интегральной электроники // Электронная промышленность. – 1988. – Вып. 10(178). – С. 3–5.Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Ивченко А.О. Теоретическое обоснование и разработка систем контроля микропримесей в воздухе // Экологические приборы и системы. – 2012. – №2. – С. 15–17.Одинокова Е.В., Панфилов Ю.В., Юрченко П.И. Перспективы получения нано-метровой шероховатости поверхности ионно-лучевым способом // Инженерный журнал: наука и инновации. – Электронное научно-технологическое издание. – 2013. – №6(18). – URL: engjournal.ru (дата обращения: 20.10.2015).Прецизионное кондиционирование воздуха в чистых помещениях / В.И. Каракеян, В.И. Ушаков, В.М. Редин и др.; под ред. В.И.Ушакова. – М. :МИЭТ, 1988. – 68 с.Каракеян В.И., Редин В.М., Терещенко А.М., Осипова Н.В. Аэродинамические режимы в чистых производственных помещениях и пылегенерация динамичных филь-тров // Электронная промышленность. – 1995. – № 4–5. – С. 16–18.Федотов А.Е. Чистые помещения. – 2-е изд. – М.: Асинком, 2003. – 576 с.Чистые помещения / Под ред. И.Хаякава: пер. с япон. под ред. В.Г. Ржанова, В.И. Ушакова. – М.: Мир, 1990. – 456 с.Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации. – М.: Клинрум, 2008. – 304 с.Проектирование чистых помещений / Под ред. В.Уайта: пер. с англ. – М.: Клин-рум, 2004. – 360 с.Каракеян В.И., Дисветова Н.М. Функционально-экологичекий анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений: методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем: сб. науч. тр. / Под ред. В.И. Каракеяна. – М.: МИЭТ, 2014. – С. 53–59.