The basic conceptual problems in design and operation of domestic and foreign-tech infrastructure of the clean rooms industries have been described. The purpose of this work is to develop an efficient concept of the ecology microelectronic technology aimed at protecting the subject of work from the negative impact of the in-plant environment with air conditioning. A detailed analysis of the long-term experience of operation of clean rooms of various classes has been conducted. The concept of the environmental technology in microelectronics has been developed and proved based on a systematic analysis of the various aspects of clean rooms functioning for microelectronics.
1. Долгушев А.И., Каракеян В.И., Ушаков В.И. Научная концепция технологической экологии интегральной электроники // Электронная промышленность. – 1988. – Вып. 10(178). – С. 3–5.
2. Каракеян В.И., Ларионов Н.М., Рябышенков А.С., Ивченко А.О. Теоретическое обоснование и разработка систем контроля микропримесей в воздухе // Экологические приборы и системы. – 2012. – №2. – С. 15–17.
3. Одинокова Е.В., Панфилов Ю.В., Юрченко П.И. Перспективы получения нано-метровой шероховатости поверхности ионно-лучевым способом // Инженерный журнал: наука и инновации. – Электронное научно-технологическое издание. – 2013. – №6(18). – URL: engjournal.ru (дата обращения: 20.10.2015).
4. Прецизионное кондиционирование воздуха в чистых помещениях / В.И. Каракеян, В.И. Ушаков, В.М. Редин и др.; под ред. В.И.Ушакова. – М. :МИЭТ, 1988. – 68 с.
5. Каракеян В.И., Редин В.М., Терещенко А.М., Осипова Н.В. Аэродинамические режимы в чистых производственных помещениях и пылегенерация динамичных филь-тров // Электронная промышленность. – 1995. – № 4–5. – С. 16–18.
6. Федотов А.Е. Чистые помещения. – 2-е изд. – М.: Асинком, 2003. – 576 с.
7. Чистые помещения / Под ред. И.Хаякава: пер. с япон. под ред. В.Г. Ржанова, В.И. Ушакова. – М.: Мир, 1990. – 456 с.
8. Уайт В. Технология чистых помещений. Основы проектирования, испытаний и эксплуатации. – М.: Клинрум, 2008. – 304 с.
9. Проектирование чистых помещений / Под ред. В.Уайта: пер. с англ. – М.: Клин-рум, 2004. – 360 с.
10. Каракеян В.И., Дисветова Н.М. Функционально-экологичекий анализ системы кондиционирования воздуха чистых помещений: методы анализа и контроля объектов природно-технических геосистем: сб. науч. тр. / Под ред. В.И. Каракеяна. – М.: МИЭТ, 2014. – С. 53–59.