The most part of chemical substances applied in clean rooms are aggressive and toxic, which requires analysis of air removal system not only from functionally related standpoint but also with regard to energy and environment. This study investigates the possibility of applying the methodology of energy and environmental analysis to compare the environmental friendliness of various air removal systems of clean rooms. It was shown that direct air removal, although having a thermodynamic advantage over a system with purification, was less favorable for the environment due to the significant level of the environmental index, which reflected the considerable potential economic damage from emissions to the atmosphere. This investigation has revealed the pollutants dominating in the composition of emissions and determining the validity of the decision on the structure of the air removal system of the clean room, taking into account the environmental, economic and biomedical aspects of its operation.
1. Гаврилин В.А., Каракеян В.И., Рябышенков А.С. Оценка эффективности системы кондиционирования воздуха чистых производственных помещений с учетом термодинамических параметров // Изв. вузов. Электроника. 2018. Т. 23. № 2. С. 133–140.
2. Казаков Р.А., Дарда И.В., Зволинский В.П. Основы теоретического анализа энергетической и экологической эффективности металлургических предприятий // Современные проблемы науки и образования. 2012. № 4. C. 38–43.
3. Каракеян В.И., Гундарцев М.А. Эксергетический анализ системы воздухообмена в чистых помещениях // Изв. вузов. Электроника. 2019. Т. 24. № 6. С. 573–580.
4. Каракеян В.И. Экономика природопользования: учеб. для академического бакалавриата. 2-е изд., испр. и доп. М.: Юрайт, 2016. 478 с.
5. Тхеин Хтут У., Пьо Тху, Гаврилин В.А. Анализ системы фильтрации чистых помещений высокотехнологичных производств // Экологические системы и приборы. 2019. № 4. С. 44–48.
6. Тхеин Хтут У., Пьо Тху, Шараева В.П. Анализ системы фильтрации чистых помещений высокотехнологичных производств // Экология и безопасность жизнедеятельности: сб. ст. XVIII Междунар. науч.-прак. конф. (20–21 декабря 2018 г.). Пенза: РИО ПГАУ, 2018. С. 300–302.
7. Гундарцев М.А., Гундарцев А.А., Константинова А.А. Построение полей рассеивания вредных примесей от промышленных предприятий // Промышленные АСУ и контроллеры. 2021. №1. С 14–20. DOI: 10.25791/asu.1.2021.1248
8. Pleshko E.S., Riabyshenkov A.S., Gundartcev M.A., Nikulina I.M. Modeling the distribution of impurities in the atmosphere from the stationary point source // Proc. of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (Moscow – St. Petersburg, Russia, January 27–30, 2020). 2020. P. 2483–2485.
9. Захаров А.Н., Пьо Тху. Энергоэффективность многоступенчатой системы фильтрации чистых помещений // Тез. докл. Междунар. науч.-техн. конф. «Техногенная энергобезопасность и энергоресурсосбережение» (Москва, 05 июля 2018 г.). М.: МИЭЭ, 2018. С. 113–114.
10. Пьо Тху, Рябышенков А.С. Анализ системы кондиционирования и фильтрации воздуха в чистых помещениях микроэлектроники // Экологические системы и приборы. 2018. № 9. С. 22–29.