Продемонстрирована возможность роста углеродных нанотрубок методом химического осаждения из ацетилена при температуре процесса 400-800 °С на поверхности металлической пленки аморфного сплава Ni-Ta-N c низким содержанием никеля (~25 ат.%). Показано, что добавление азота в состав сплава Ni-Ta способствует образованию нитрида тантала и выдавливанию на поверхность кластеров никеля, выступающих в роли катализатора при росте углеродных нанотрубок. В результате исследования с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния получено, что при повышении температуры процесса синтеза качество нанотрубок улучшается.
1. Popov V. Carbon nanotubes: properties and application // Materials Science and Engineer-ing. – 2004. – Vol.43. – P. 61–102.
2. Carbon nanomaterials in biosensors: should you use nanotubes or graphene? / W. Yanget et al. // Angew. Chem. Int. Ed. – 2010. – Vol. 49. – P. 2114–2138.
3. Naeemi A., Meindl J.D. Carbon Nanotube Interconnects // Annu. Rev. Mater. Res. – 2009. – Vol. 39. – P. 255–275.
4. Grella K., Dreiner S., Vogt H., Paschen U. Reliability of CMOS on silicon-on-insulator for use at 250 // IEEE Trans. Device Mater. Relib. – 2014. – Vol. 14. – P. 21–29.
5. Dresselhaus M.S., Dresselhaus G., Avouris P. Carbon nanotubes: synthesis, structure, properties, and applications. – Berlin Heidelberg: Springer-Verlag, 2001. – 449 p.
6. Direction-selective and length-tunable in-plane growth of carbon nanotubes / A. Cao, R. Baskaran, M.J. Frederick et al. // Adv. Mater. – 2003. – Vol. 15. – P. 1105-1109.
7. Effects of bimetallic catalysts on synthesis of nitrogen-doped carbon nanotubes as na-noscale energetic materials / H. Liu, Y. Zhang, R. Li et al. // Particuology. – 2011. – Vol. 9. – P. 465–470.
8. Ni-Mo and Co-Mo alloy nanoparticles for catalytic chemical vapor deposition synthesis of carbon nanotubes / E.V. Lobiak, E.V. Shlyakhova, L.G. Bulushevaet al. // Journal of Alloys and Compounds. – 2015. – Vol. 621. – P. 351–356.
9. Growth of high-density self-aligned carbon nanotubes and nanofibers using palladium catalyst / S. Vollebregt, J. Derakhshandeh, R. Ishihara et al. // J. of electronic materials. – 2010. – Vol. 39. – No.4. – P. 371–375.
10. Antunes E.F., Lobo A.O., Corat E.J., Trava-Airoldi V.J. Influence of diameter in the Raman spectra of aligned multi-walled carbon nanotubes // Carbon. – 2007. – Vol. 45. – No.5. – P. 913–921.
11. Природа низкочастотной полосы в спектрах комбинационного рассеяния света многостенных углеродных нанотрубок, синтезированных методом CVD / В.В. Болотов, В.Е. Кан, М.Ю. Бирюков и др. // Физика твердого тела. – 2013. – Т. 55. – Вып. 7. – С. 1360–1363.
12. Tu K.N. Shallow and parallel silicide contacts // J. Vac. Sci. Techn. – 1982. – Vol.19. – No.766.
13. Gromov D.G., Mochalov A.I., Pugachevich V.P., Sorokin I.N. Interaction between bi-nary alloy thin films and silicon substrate: the conditions of bilayer formation and the effect of additional component // Appl. Phys. A. – 2000. – Vol. 70. – No. 7. – P. 333–340.
14. Ansara I., Selleby M. Thermodynamic analysis of the Ni-Ta system // Calphad. – 1994. – Vol. 18. – P. 99–107.
15. Phase formation during the surface-diffusion growth of Ti-Co-Si-N and Ti-Co-N thin films on Si and SiO2 / A.G. Vasiliev, R.A. Zakharov, V.V. Rodatis et al. // Russian Microelec-tronics. – 2001. – Vol. 30. – No. 5. – P. 295–302.
16. Effect of hydrogen on the growth and morphology of single wall carbon nanotubes syn-thesized on a Fe-Mo/MgO catalytic system / A.R. Biris, Z. Li, E. Dervishi et al. // Phys. Lett. A. – 2008. – Vol. 372. – P. 3051–3057.