Персоналии

• Просмотров: 1152 | Комментариев : 0

• Просмотров: 382 | Комментариев : 0

Показаны основные факторы, определяющие требования к герметизации микромеханических устройств и систем (МЭМС). Проанализированы применительно к герметизации МЭМС методы обработки материалов и создания трехмерных структур, используемые в микросистемной технике. Рассмотрены различные технологические варианты вакуумной герметизации микросистем,  тенденции развития данной области.

• Просмотров: 1408 | Комментариев : 0

Рассмотрена возможность применения пористого кремния при создании варикапов с большим коэффициентом перекрытия по емкости, удовлетворяющих требованиям микроэлектроники и микросистемной техники. Описана технология изготовления конденсаторных структур с применением гальванического осаждения меди в поры пористого кремния. Исследованы морфологические особенности экспериментальных структур, определена удельная емкость варикапов. Показана перспективность применения варикапов на основе пористого кремния в интегральной электронике.

• Просмотров: 1389 | Комментариев : 0

Проведено исследование влияния газового демпфирования на ширину полосы пропускания микроакселерометров маятникового типа. Установлено, что для увеличения ширины пропускания необходимо обеспечить остаточное давление внутри объема корпуса не более 1-5·10-1 мм рт. ст. Данное условие реализуемо с помощью разработанной технологии герметизации микроэлектромеханических приборов в металлостеклянных корпусах.

• Просмотров: 219 | Комментариев : 0

Изложены результаты исследования и разработки технологических процессов сборки и монтажа деталей МЭМС, использованные для изготовления работоспособных макетных образцов

• Просмотров: 1243 | Комментариев : 0

Предложены расчетные соотношения, позволяющие провести оценку истинной скорости утечки при исследовании герметичности изделий микроэлектроники и микросистемной техники.

• Просмотров: 1194 | Комментариев : 0