Проведено исследование влияния газового демпфирования на ширину полосы пропускания микроакселерометров маятникового типа. Установлено, что для увеличения ширины пропускания необходимо обеспечить остаточное давление внутри объема корпуса не более 1-5·10-1 мм рт. ст. Данное условие реализуемо с помощью разработанной технологии герметизации микроэлектромеханических приборов в металлостеклянных корпусах.
-
Опубликовано в разделе:
Микросистемы
-
Библиографическая ссылка:
1. Sparks D., Massoud-Ansari S., Najafi N. Reliable Vacuum packaging using nanogettersTM and glass frit bonding // Integrated Sensing Systems Inc. - USA, Jan 2004. - P. 71-75.
2. Перспективы создания и применения микромеханических вибрационных гироскопов / С.П.Тимошенков, В.Г.Рубчиц, В.Ф.Шилов и др. // Сб. «ДДАТ-2003». - Пенза, 2003. - С. 39.
3. Veijola T. Equivalent сircuit models for micromechanical inertial sensors // Circuit Theory Laboratory Report Series CT-39. - Helsinki University of Technology, 1999. (www.aplac.hut.fi).
4. Бойко А.Н., Фортинский Ю.К. Разработка технологии герметизации микромеханических датчиков // Тез. докл. VII Междунар. научн. техн. конф. «Электроника и информатика - 2005». - М.: МИЭТ, 2005. - С. 59.