Известия высших учебных заведений. Электроника home

Методы сборки и монтажа макетных образцов микроэлектромеханических систем

Раздел находится в стадии актуализации

Изложены результаты исследования и разработки технологических процессов сборки и монтажа деталей МЭМС, использованные для изготовления работоспособных макетных образцов

Ключевые слова: МЭМС, сборка МЭМС, анодное сращивание, эвтектическая пайка
Опубликовано в разделе: Микросистемы
Библиографическая ссылка:

Тимошенков Сергей Петрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия

Бойко Антон Николаевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия

Симонов Борис Михайлович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия