Известия высших учебных заведений. Электроника home

Оценка параметров герметичности корпусированных микроструктур

Раздел находится в стадии актуализации

Предложены расчетные соотношения, позволяющие провести оценку истинной скорости утечки при исследовании герметичности изделий микроэлектроники и микросистемной техники.

Ключевые слова: герметичность, микросистемная техника, оценка скорости утечки
Опубликовано в разделе: Краткие сообщения
Библиографическая ссылка:

Бойко Антон Николаевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия

Тимошенков Сергей Петрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия

Гаев Дахир Сайдуллахович
Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, г. Нальчик, Россия

Хаубольд Марко
Институт электронных наносистем Фраунхофера (Fraunhofer ENAS)

Вимер Майк
Институт электронных наносистем Фраунхофера (Fraunhofer ENAS)

Гесснер Томас
Институт электронных наносистем Фраунхофера (Fraunhofer ENAS)