1561-5405

10.24151/1561-5405

Proceedings of Universities. Electronics

Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics"

Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника»

1561-5405 2587-9960

National Research University of Electronic Technology

Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"

Краткие сообщения

Archives

Оценка параметров герметичности корпусированных микроструктур

Бойко Антон Николаевич

Бойко

Антон Николаевич

Boiko

Anton N.

Anton N. Boiko

Тимошенков Сергей Петрович

Тимошенков

Сергей Петрович

Timoshenkov

Sergey P.

Sergey P. Timoshenkov

Гаев Дахир Сайдуллахович

Гаев

Дахир Сайдуллахович

Gaev

Dakhir S.

Dakhir S. Gaev

Хаубольд Марко

Хаубольд

Марко

Marko

Khaubold

Khaubold Marko

Вимер Майк

Вимер

Майк

Mayk

Vimer

Vimer Mayk

Гесснер Томас

Гесснер

Томас

Tomas

Gessner

Gessner Tomas

Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, РоссияКабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, г. Нальчик, РоссияИнститут электронных наносистем Фраунхофера (Fraunhofer ENAS)

8789

http://ivuz-e.ru/issues/95-_2012/otsenka_parametrov_germetichnosti_korpusirovannykh_mikrostruktur/

The equations for estimation of the true leak rate for the hermiticity testing of microelectronic devices and MEMS have been proposed.

Предложены расчетные соотношения, позволяющие провести оценку истинной скорости утечки при исследовании герметичности изделий микроэлектроники и микросистемной техники.

герметичностьмикросистемная техникаоценка скорости утечки