Персоналии
Статьи автора
- Просмотров: 1295 | Комментариев : 0
Рассмотрена возможность применения пористого кремния при создании варикапов с большим коэффициентом перекрытия по емкости, удовлетворяющих требованиям микроэлектроники и микросистемной техники. Описана технология изготовления конденсаторных структур с применением гальванического осаждения меди в поры пористого кремния. Исследованы морфологические особенности экспериментальных структур, определена удельная емкость варикапов. Показана перспективность применения варикапов на основе пористого кремния в интегральной электронике.
- Просмотров: 1429 | Комментариев : 0
- Просмотров: 1399 | Комментариев : 0
Предложены расчетные соотношения, позволяющие провести оценку истинной скорости утечки при исследовании герметичности изделий микроэлектроники и микросистемной техники.
- Просмотров: 1234 | Комментариев : 0