Том 22 №3

Содержание

Свернуть

Технологические процессы и маршруты

Авторы: Кравченко А. А., Погалов А. И.
211 - 219

Элементы интегральной электроники

Авторы: Сергеев В. А., Фролов И. В., Широков А. А., Радаев О. А.
220 - 230
Авторы: Королев М. А., Козлов А. В., Красюков А. Ю., Девликанова С. С.
231 - 237

Микро- и наносистемная техника

Авторы: Аунг Тхура, Симонов Б.М. , Тимошенков С.П.
276 - 284

Интегральные радиоэлектронные устройства

Авторы: Усанов Д. А., Скрипаль А. В., Посадский В. Н., Тяжлов В. С., Григорьев Д. В.
285 - 291