Том 22 №3

Содержание

Свернуть

Технологические процессы и маршруты

Авторы: Кравченко А.А., Погалов А.И.
211 - 219

Элементы интегральной электроники

Авторы: Сергеев В.А., Фролов И.В., Широков А.А., Радаев О.А.
220 - 230
Авторы: Королев М.А., Козлов А.В., Красюков А.Ю., Девликанова С.С.
231 - 237

Микро- и наносистемная техника

Авторы: Аунг Тхура, Симонов Б.М. , Тимошенков С.П.
276 - 284

Интегральные радиоэлектронные устройства

Авторы: Усанов Д.А., Скрипаль А.В., Посадский В.Н., Тяжлов В.С., Григорьев Д.В.
285 - 291