Датчики Холла широко применяются для измерения индукции магнитного поля, бесконтактного определения механических и электрических воздействий. Для многофакторного анализа приборных характеристик полевого датчика Холла на основе КНИ-структуры (КНИ ПДХ) целесообразно использовать современные методы математического моделирования. Средствами приборно-технологического моделирования Synopsys TCAD проведен расчет выходных и передаточных характеристик двумерной модели КНИ ПДХ. Получены двумерные распределения концентрации электронов, электрического поля и плотности тока в канале КНИ ПДХ в трех типовых режимах работы датчика - полного обеднения, неполного обеднения и обогащения. Полученные результаты хорошо совпадают с экспериментальными данными и подтверждают физическую модель КНИ ПДХ и особенности работы прибора в области неполного обеднения, при котором образуется проводящий канал в теле КНИ ПДХ. Результаты исследования позволяют детально изучать особенности функционирования КНИ ПДХ.
1. Some features of magnetometric and sensor devices based on the field effect hall sensor / M.L. Baranochnikov, A.V. Leonov, V.N. Mordkovich et al. // Advanced Electromagnetics Symposium. Proceedings. – Paris, 2012. – P. 455–459.
2. Полевой датчик Холла – новый тип преобразователя магнитного поля / В.Н. Морд-кович, М.Л. Бараночников, А.В. Леонов и др. // Датчики и системы. – 2003. – Вып. 7. – С.33–38.
3. Королёв М.А., Козлов А.В., Петрунина С.С. Особенности функционирования по-левого датчика Холла на основе КНИ структур, предназначенного для работы в телеком-муникационных сетях // Труды МФТИ. – 2015. – Т. 7. – № 3. – С. 91–95.
4. Королёв М.А., Крупкина Т.Ю., Чаплыгин Ю.А. Приборно-технологическое моде-лирование при разработке изделий микроэлектроники и микросистемной техники // Изв. вузов. Электроника. – 2005. – №4-5. – С. 64–71.
5. Козлов А.В., Королёв М.А., Петрунина С.С. Математическое моделирование влия-ния концентрации примеси на величину тока стока КНИ полевого датчика Холла // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – №4. – С. 377–381.
6. Королёв М.А., Павлюк М.И., Девликанова С.С. Физическая модель полевого дат-чика Холла на основе КНИ-структуры //Изв. вузов. Электроника. – 2016. – Т. 22. – № 2 – С. 166–170.