доктор технических наук, профессор, директор Института нано- и микросистемной техники Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
На образцах пластин КЭФ показано, что толщина оксидных плёнок и условия окисления поверхности оказывают сильное влияние на работу выхода электрона (РВЭ), измеренную в атмосферных условиях методом статического конденсатора с ионизированным промежутком. Установлено, что изменения РВЭ связаны с сорбированными парами воды, количество которых определяется структурой и свойствами оксидной плёнки. Изменения РВЭ в зависимости от типа оксидной пленки могут достигать ~ 20%.
Рассмотрено одно из возможных схемотехнических решений для разработки емкостных преобразователей линейных ускорений с чувствительным элементом дифференциального типа. Приводятся результаты испытаний опытного образца на специализированном стенде.
Предложены расчетные соотношения, позволяющие провести оценку истинной скорости утечки при исследовании герметичности изделий микроэлектроники и микросистемной техники.