Персоналии

Электростатический актюатор применяется в конструкциях микромеханических акселерометров, гироскопов, вибромоторов и других приборов. Изменение величины зазора между гребенками ротора и статора разных форм влияет на электростатическую силу. В микроэлектромеханических датчиках актюатор гребенчатой конструкции используется для возбуждения колебаний резонатора. В работе получено уточненное уравнение для расчета электростатической силы актюатора гребенчатой и балочной конструкций. С помощью моделирования в программе ANSYS исследовано влияние величины перекрытия между зубцами гребенок на электростатическую силу и емкость, а также изменение частоты колебаний резонатора при воздействии силы. Аналогичные исследования выполнены для резонатора балочной конструкции. Применение как балочной, так и гребенчатой конструкции с малым перекрытием зубцов гребенок позволяет уменьшить паразитные электростатические силы (по осям y , z ) и повысить чувствительность частотного микроакселерометра за счет большего изменения частоты колебаний резонатора при воздействии силы.

• Просмотров: 2694 | Комментариев : 0

На образцах пластин КЭФ показано, что толщина оксидных плёнок и условия окисления поверхности оказывают сильное влияние на работу выхода электрона (РВЭ), измеренную в атмосферных условиях методом статического конденсатора с ионизированным промежутком. Установлено, что изменения РВЭ связаны с сорбированными парами воды, количество которых определяется структурой и свойствами оксидной плёнки. Изменения РВЭ в зависимости от типа оксидной пленки могут достигать ~ 20%.

• Просмотров: 1410 | Комментариев : 0

Рассмотрено одно из возможных схемотехнических решений для разработки емкостных преобразователей линейных ускорений с чувствительным элементом дифференциального типа. Приводятся результаты испытаний опытного образца на специализированном стенде.

• Просмотров: 1357 | Комментариев : 0

Предложены расчетные соотношения, позволяющие провести оценку истинной скорости утечки при исследовании герметичности изделий микроэлектроники и микросистемной техники.

• Просмотров: 1411 | Комментариев : 0

Рассмотрены два подхода, используемые для обоснования моделей надежности: физико-вероятностный и физико-статистический, показана их эквивалентность.

• Просмотров: 1620 | Комментариев : 0