Исследование статических характеристик емкостного преобразователя линейного ускорения на базе микросхемы отечественного производства

Рассмотрено одно из возможных схемотехнических решений для разработки емкостных преобразователей линейных ускорений с чувствительным элементом дифференциального типа. Приводятся результаты испытаний опытного образца на специализированном стенде.

• Ключевые слова: микроэлектромеханические системы, микросистемы, емкостные акселерометры
• Опубликовано в разделе: Краткие сообщения
• Библиографическая ссылка: