Зависимость работы выхода электрона от условий окисления Si(100)

Раздел находится в стадии актуализации

На образцах пластин КЭФ показано, что толщина оксидных плёнок и условия окисления поверхности оказывают сильное влияние на работу выхода электрона (РВЭ), измеренную в атмосферных условиях методом статического конденсатора с ионизированным промежутком. Установлено, что изменения РВЭ связаны с сорбированными парами воды, количество которых определяется структурой и свойствами оксидной плёнки. Изменения РВЭ в зависимости от типа оксидной пленки могут достигать ~ 20%.
Новиков Сергей Николаевич
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Тимошенков Сергей Петрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Сухоруков Дмитрий Олегович
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru