Персоналии

Исследованы изменения структуры и фазового состава монооксида кремния в реакции диспропорционирования при высокой температуре с образованием фазы нанокристаллического кремния. Порошок нанокремния после отделения от оксидов кремния исследован методами порошковой дифрактометрии и малоуглового рассеяния рентгеновского излучения. Установлено, что при оптимальных условиях термообработки монооксида кремния полученный порошок содержит частицы нанокремния размером 17-20 нм в объемной доле 40%.

• Просмотров: 1309 | Комментариев : 0

Разработаны технологический процесс получения наночастиц кремния из монооксида кремния, позволяющий управлять размерами частиц в диапазоне 2-10 нм, а также методы нанесения покрытий из нанокремния на солнечные элементы. Исследовано влияние таких покрытий на эффективность солнечных элементов. Показано, что пленки из нанокремния характеризуются хорошими просветляющими и пассивирующими свойствами и могут успешно использоваться в технологии изготовления солнечных элементов.

• Просмотров: 1610 | Комментариев : 0

Представлены результаты комплексного исследования параметров диффузионно-барьерных структур TiN/Ti с помощью методов относительной рентгеновской рефлектометрии и диффузного рассеяния рентгеновского излучения, реализованных на базе двухволновой рентгенооптической схемы измерений. Показано, что данная схема в рамках одного измерения обеспечивает исследование двух различных областей диффузного рассеяния, что повышает корректность и однозначность проведенного анализа. Рассмотренный комплекс методов позволяет разрешить неоднозначность типа плотность/шероховатость при решении обратной задачи рефлектометрии и рассчитать параметры скрытых слоев в исследованных структурах.

• Просмотров: 1446 | Комментариев : 0