Представлены результаты комплексного исследования параметров диффузионно-барьерных структур TiN/Ti с помощью методов относительной рентгеновской рефлектометрии и диффузного рассеяния рентгеновского излучения, реализованных на базе двухволновой рентгенооптической схемы измерений. Показано, что данная схема в рамках одного измерения обеспечивает исследование двух различных областей диффузного рассеяния, что повышает корректность и однозначность проведенного анализа. Рассмотренный комплекс методов позволяет разрешить неоднозначность типа плотность/шероховатость при решении обратной задачи рефлектометрии и рассчитать параметры скрытых слоев в исследованных структурах.
1. Рентгеновские методы исследования наноструктур и нанообъектов электроники / Н.Н. Герасименко, Б.Н. Рыгалин, Д.И. Смирнов и др. // Нанотехнологии в электронике. Вып. 2 / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. – М.: Техносфера, 2013. – 688 с.
2. Многофункциональный рентгеновский рефлектометр для исследования нанострук-тур / А.Г. Турьянский, Н.Н. Герасименко, И.В. Пиршин и др. // Наноиндустрия. – 2009. – № 5(17). – С. 40–43.
3. X-ray and neutron scattering from rough surfaces / S.K. Sinha, E.B. Sirota, S. Garoff et al. // Phys. Rev. B. – 1988. – Vol. 38. – No. 4. – P. 2297–2311.
4. Holy V., Pietsch U., Baumbach T. High-resolution X-ray scattering from thin films and multilayers // Springer Tracts in Modern Physics. – 2004. – Vol. 149. – 408 p.
5. Holy V., Baumbach T. Nonspecular x-ray reflection from rough multilayers // Phys. Rev. B. – 1994. – Vol. 49. – Iss. 15. – P. 10668–10676.
6. Analysis of 2D GISAXS patterns obtained on semiconductor nanocrystals / M. Buljan, K. Salamon, P. Dubcek et al. // Vacuum. – 2003. – Vol. 71. – P. 65–70.
7. Ordering mechanism of stacked CdSe∕ZnSxSe1−x quantum dots: A combined reciprocal-space and real-space approach / Th. Schmidt, E. Roventa, T. Clausen et al. // Phys. Rev. B. – 2005. – Vol. 72. – P. 195334.
8. Проблемы измерения параметров элементов и структур современной микро- и наноэлектроники на примере диффузионно-барьерных структур TiN/Ti / Д.И. Смирнов, Р.М. Гиниятуллин, И.Ю. Зюльков и др. // Письма в ЖТФ. – 2013. – Т. 39. – № 14. – C. 34–42.
9. Parratt L.G. Surface studies of solids by total reflection of X-rays // Phys. Rev. – 1954. – Vol. 95. – P. 359–369.
10. Ulyanenkov A., Sobolewski S. Extended genetic algorithm: application to X-ray analysis // J. Phys. D: Appl. Phys. – 2005. – Vol. 38. – P. A235–A238.