Персоналии
доктор физико-математических наук, профессор, заведующий лабораторией пучковых воздействий Института электрофизики Уральского отделения РАН (г. Екатеринбург). Область научных интересов: математическое моделирование радиационных процессов в твердом теле, физические основы радиационных методов технологии.
Статьи автора
Представлены результаты комплексного исследования параметров диффузионно-барьерных структур TiN/Ti с помощью методов относительной рентгеновской рефлектометрии и диффузного рассеяния рентгеновского излучения, реализованных на базе двухволновой рентгенооптической схемы измерений. Показано, что данная схема в рамках одного измерения обеспечивает исследование двух различных областей диффузного рассеяния, что повышает корректность и однозначность проведенного анализа. Рассмотренный комплекс методов позволяет разрешить неоднозначность типа плотность/шероховатость при решении обратной задачи рефлектометрии и рассчитать параметры скрытых слоев в исследованных структурах.
- Просмотров: 1415 | Комментариев : 0