Тензиметрические исследования состава пара мышьяка и фосфора

Основными активными элементами в диапазоне частот от единиц до сотен гигагерц остаются полевые транзисторы с барьером Шоттки на арсениде галлия, других соединениях АВ и различных гетероструктурах на их основе. Для оптоэлектроники большое значение приобрел фосфид галлия и его соединения. Получение этих гетероструктур осуществляется, как правило, газофазными методами, при реализации которых необходимо знание состава пара их летучих компонентов. В работе тензиметрическим статическим методом исследован состав пара мышьяка и фосфора. Создана математическая модель для обработки экспериментальных результатов. Данные по давлению ненасыщенного пара мышьяка получены с помощью кварцевого мембранного манометра в интервале температур 973-1173 К и давлении 1,3∙10-1,9∙10 Па. В результате расчета показано, что пар мышьяка и фосфора состоит в основном из двух- и четырехатомных молекул. С применением наиболее достоверных справочных данных по энтальпии и энтропии As, As, P и P определены соответствующе термодинамические значения для As: = (178,90 ± 3,77) кДж/моль; = (227,17 ± 5,44) Дж/(моль·К) и для P: = (229,01 ± 3,55) кДж/моль; = (156,16 ± 0,83) Дж/(моль·К).
Вигдорович Евгений Наумович
МИРЭА – Российский технологический университет, г. Москва, Россия
Поделиться