Рассмотрены особенности приборно-технологического модели- рования интегральных магниточувствительных элементов в составе микро- и наносистем. Представлены результаты моделирования и оптимизации конструктивно-технологических параметров для магниточувствительных транзисторов, интегральных элементов Холла, формируемых в рамках стандартной КМОП-технологии, полевого датчика Холла на основе КНИ-структур, а также характеристики концентраторов магнитного поля.
1. Королев М.А., Крупкина Т.Ю., Чаплыгин Ю.А. Приборно-технологическое моделирование при разработке изделий микроэлектроники и микросистемной техники // Изв. вузов. Электроника. –2005. – №4–5. – С. 64–71.
2. Джексон Р.Г. Новейшие датчики. – М.: Техносфера. – 2007. – С. 145–151.
3. Балтес Г.П., Попович Р.С. Интегральные полупроводниковые датчики магнитного поля // ТИИЭР. – 1986. – Т. 74. – № 8. – С. 60–86.
4. Галушков А.И., Чаплыгин Ю.А. Интегральные магниточувствительные микросистемы // Изв. вузов. Электроника. – 2000. – № 4–5. – С. 124–127.
5. Tumanski S. Induction coil sensors // Meas. Sci. Technol. – 2007. – Vol. 18. – P. R31–R46.
6. Козлов А.В., Тихонов Р.Д. Исследование структуры биполярного двухколлекторного магнитотранзистора в двойном кармане с помощью приборно-технологического моделирования: мат. VI Международной научно-технической конференции INTERMATIC-2008. – М.: МИРЭА, 2008. – С. 189–193.
7. Randjelovic Z.B., Kayal M., Popovic R., Blanchard H. High sensitive Hall magnetic sensor microsystem in CMOS technology // IEEE J. of Solid-State Circuits. – 2002. – Vol. 37. – P. 151–158.
8. Чаплыгин Ю.А., Крупкина Т.Ю., Красюков А.Ю., Артамонова Е.А. Исследование влияния топологии КМОП совместимого элемента Холла на его магниточувствительность // VI Всероссийская научно-техническая конференция «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем-2014»: сб. науч. тр. / Под общ. ред. А.Л. Стемпковского. – М.: ИППМ РАН, 2014. – С. 179–184.
9. Some features of magnetometric and sensor devices based on the field effect hall sensor / M.L. Baranochnikov, A.V. Leonov, V.N. Mordkovich et al. // Advanced Electromagnetics Symposium. Proceedings. – Paris, 2012. – P. 455–459.