Том 22 №4

Содержание

Свернуть

Технологические процессы и маршруты

Авторы: Белов А.Н., Перевалов А.А., Шевяков В.И.
305 - 321

Элементы интегральной электроники

Авторы: Сергеев В.А., Тетенькин Я.Г.
350 - 360

Микро- и наносистемная техника

Авторы: Аунг Тхура, Симонов Б.М. , Тимошенков С.П.
386 - 397