Мемристорные структуры для микро- и наноэлектроники. Физика и технология

     Развитые технологии КМОП-структур и энергонезависимая память на их основе столкнутся с фундаментальными ограничениями уже в 2018-2020 гг. В настоящее время проводится интенсивный поиск приборов на основе новых физических принципов, которые потенциально будут иметь более высокую степень интеграции. В качестве таких приборов предлагается использовать мемристоры. Представлен обзор литературы, посвященной последним разработкам в области создания мемристорных структур, а также массивам на их основе. Детально рассмотрены материалы, технологии создания и физические принципы функционирования мемристорных структур, а также современные технологии создания массивов этих структур. Представлены три наиболее перспективные направления развития мемристоров на основе халькогенидов, оксидов металлов и твердых электролитов. Обзор будет полезен исследователям и специалистам в области создания кремниевой энергонезависимой памяти.
Алексей Николаевич Белов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Алексей Андреевич Перевалов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Василий Иванович Шевяков
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Поделиться