Методика регулирования концентрации углеродных нанотрубок (УНТ) включает в себя три стадии. На первой, до синтеза нанотрубок, проводится литографическая фрагментация катализатора при условии его формирования с помощью «фазового расслоения», фрагментации неактивным металлом, регулирования длительности электрохимического осаждения либо структуризации под самоформирующиеся массивы. На второй стадии должны соблюдаться определенные условия синтеза УНТ, способствующие формированию разреженных структур. Третья стадия, применяемая в случае необходимости, предусматривает лазерное структурирование либо извлечение областей массивов вклеиванием в промежуточную подложку. В зависимости от задач и технологических возможностей допускаются и другие комбинации описанных методов. Отмечена важность регулирования концентрации УНТ в формируемой электрохимическими методами композитной металлизации интегральных схем. Вопрос рассмотрен с позиции как технологических возможностей, так и необходимости получения требуемых характеристик. Описаны оба варианта электрохимического формирования композитов, такие как осаждение меди в предварительно выращенные массивы УНТ и одновременное осаждение меди и УНТ. Представленная методика совместима с технологиями СБИС и 3D ИС и позволяет получать образцы композитных проводников с прогнозируемыми и регулируемыми концентрациями УНТ, что напрямую влияет на характеристики создаваемых структур.
-
Ключевые слова:
композит, металлизация, интегральные схемы, 3D ИС, углеродные нанотрубки, массивы, низкая плотность, регулирование концентрации, металлическая матрица, медь, электрохимическое осаждение
-
Опубликовано в разделе:
Краткие сообщения
-
Библиографическая ссылка:
Кондратьев П.К. Методика регулирования концентрации углеродных нанотрубок при формировании композитной металлизации ИС // Изв. вузов. Электроника. - 2017. - Т. 22. - № 4. - С. 398-402. DOI: 10.24151/1561-5405-2017-22-4-398-402
Кондратьев Павел Константинович
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Литература
1. Конструкция и технология изготовления тестовых кристаллов с композитными проводниками на основе УНТ и металлов / А.Н. Сауров, С.В. Булярский, П.К. Кондрать-ев и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2016. – № 10. – С. 628–635.
2. Strain-engineered manufacturing of freeform carbon nanotube microstructures / M. De Volder, S. Park, S. Tawfick et al. // Nature communications. – 2014. – N. 3512. – P. 1–9.
3. Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста УНТ методом CVD / Д.Г. Громов, С.В. Дубков, А.А. Павлов и др. // Микроэлектроника. – 2016. – Т. 45. – № 2. – С. 105–111.
4. Heli Jantunen, Osmo Hormi. Laser-assisted surface processing. – URL: www.infotech.oulu.fi/Annual/2005/empart (дата обращения: 15.03.2017).
5. Laser-assisted simultaneous transfer and patterning of vertically aligned CNT arrays on polymer substrates / Jung Bin In, Daeho Lee, Francesco Fornasiero et al. // ACS Nano/American Chemical Society. – 2012. – N. 6(9). – P. 7858–7866.
6. Low-temperature synthesis of carbon nanotubes by plasma enhanced chemical vapor dep-osition / A.A. Pavlov, V.A. Galperin, A.A. Shamanaev et al. // International Conference «Micro- and Nanoelectronics – 2012»: Book of abstracts. – Moscow, Zvenigorod, Russia. – 2012. – P. 30–35.
7. Study of silver cluster formation from thin films on inert surface / A.N. Belov, S.V. Bulyarsky, D.G. Gromov et al. // CALPHAD: Computer Coupling of Phase Diagrams and Thermochemistry. – 2014. – Vol. 44. – P. 138–141.