Персоналии
старший научный сотрудник кафедры электроники Национального исследовательского ядерного университета «МИФИ» (Россия, 115409, г. Москва, Каширское шоссе, 31); руководитель Обособленного подразделения «Зеленоград» АО «ЭНПО СПЭЛС» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); инженер лаборатории испытаний НПК «Технологический центр» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
Статьи автора
- Просмотров: 271 | Комментариев : 0
- Просмотров: 256 | Комментариев : 0
Проведены исследования, направленные на выявление корреляции между нестабильностью технологического процесса производства радиационно стойких ИС и их радиационной чувствительностью. Рассмотрено влияние разброса параметров толщины и проводимости приборного слоя, параметров легирования активных областей, а также параметров исходных гетероструктур на разброс радиационной чувствительности ИС.
- Просмотров: 1184 | Комментариев : 0