Прогнозный контроль радиационной стойкости микросхем в серийном производстве. II. Выбор объектов испытаний и статистическая обработка результатов контроля

Прогнозный контроль радиационной стойкости микросхем в серийном производстве. II. Выбор объектов испытаний и статистическая обработка результатов контроля

Раздел находится в стадии актуализации

Требования к радиационной стойкости изделий необходимо подтверждать в серийном производстве на каждой партии пластин. Базовый технологический процесс должен быть управляемым, чтобы гарантировать точность и стабильность всех заявленных параметров изделия, в том числе радиационной стойкости. Разработки системы мониторинга и статистического регулирования базового технологического процесса ведутся на основании данных, полученных в ходе радиационно-ориентированной характеризации базового технологического процесса или во время предварительных испытаний в процессе разработки изделия. На каждом этапе изготовления используются соответствующие тестовые структуры для прогнозной оценки радиационной стойкости изделия. В работе по результатам анализа инженерной практики и литературных данных предложен состав тестовых структур для контроля технологического процесса на примере КМОП КНИ 250 нм, отвечающий требованиям по радиационной стойкости. Статистическая обработка данных мониторинга производственных партий пластин направлена на проверку степени отклонения текущей партии от базовой группы, которая выбрана в качестве эталонной. Объем выборки составляет всего 3 шт., поэтому предложено оценивать однородность производственных партий с помощью непараметрических статистических критериев оценивания. Рассмотренный подход позволяет гарантировать радиационную стойкость за счет управляемости и стабильности базового технологического процесса, что способствует минимизации технико-экономических затрат и объема радиационных испытаний.
Московская Юлия Марковна
НИЯУ «МИФИ», Россия, 115409, г. Москва, Каширское шоссе, 31; АО «ЭНПО СПЭЛС», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; НПК «Технологический центр», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1
Бойченко Дмитрий Владимирович
НИЯУ «МИФИ», Россия, 115409, г. Москва, Каширское шоссе, 31; АО «ЭНПО СПЭЛС», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru