Персоналии

Установлены закономерности изменения ширины линии осажденного материала в зависимости от скорости перемещения координатного стола установки и энергии лазерного излучения. Определены технологические

• Просмотров: 339 | Комментариев : 0

Проанализированы методы устранения дефектов топологии интегральных микросхем на фотошаблонах. Выявлены наиболее эффективные методы устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при производстве фотошаблонов под уровень ИС с нормами до 90 нм.

• Просмотров: 402 | Комментариев : 0

Представлен опыт применения многолучевого лазерного генератора изображения и электронно-лучевого генератора изображения с изменяемой геометрией луча для переноса изображения топологического рисунка интегральной схемы на фотошаблонах с использованием технологии, обеспечивающей геометрическую форму топологического элемента, максимально приближенную проектным данным. Адекватность разработанной технологии изготовления прецизионных фотошаблонов подтверждена результатами контроля при изготовлении смешанных комплектов.

• Просмотров: 1207 | Комментариев : 0