Персоналии

Приведены результаты исследования процесса формирования поликремниевых элементов при наличии сложного рельефа в виде островков кремния в структуре кремний на изоляторе (КНИ). Найдены оптимальные технологические параметры процесса и описаны определяющие их физико-химические механизмы. Предложена новая концепция организации процесса вакуумно-плазменного травления поликремниевых элементов при наличии сложного рельефа. Разработан и оптимизирован процесс реактивно-ионного травления поликремниевых элементов при формировании структур схем повышенной радиационной стойкости, таких как КНИ.

• Просмотров: 1633 | Комментариев : 0

Построена теоретическая модель гомогенной нуклеации, учитывающая влияние поверхностного натяжения на формирование кластеров. Выполнены эксперименты по формированию кластеров железа, образующихся в процессе пиролиза ферроцена при различных температурах. На основании теоретических и экспериментальных данных разработана методика определения температурной зависимости поверхностного натяжения наноразмерных кластеров и показано влияние этого параметра на распределение кластеров по размеру.

• Просмотров: 1365 | Комментариев : 0

Разработана фундаментальная термодинамическая модель формирования кластеров катализаторов, из которых растут углеродные нанотрубки. Проведено сопоставление этой модели с экспериментом. Получено выражение для функции распределения кластеров по размерам в зависимости от условия их формирования. Показано, что важную роль в образовании кластера играет поверхностное натяжение. Определена величина коэффициента поверхностного натяжения для кластеров железа при 950 °С.

• Просмотров: 1346 | Комментариев : 0