доктор физико-математических наук, главный научный сотрудник лаборатории радиационно-стимулированных процессов Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (Россия, 142432, г. Черноголовка ул. Академика Осипьяна, 6)