Исследование КНИ полевых датчиков Холла в режиме неполного обеднения

Ранее при исследовании с помощью приборно-технологического моделирования КНИ полевого датчика Холла (КНИ ПДХ) в режиме неполного обеднения обнаружен эффект повышения его магниточувствительности. В работе с целью экспериментального подтверждения обнаруженного эффекта исследованы параметры образцов КНИ ПДХ в различных режимах их функционирования. Для повышения точности измерений в режиме неполного обеднения использована конструкция ПДХ с расщепленным стоком. Определены оптимальные величины нагрузочных сопротивлений мостовой схемы. Анализ результатов исследования экспериментальных образцов КНИ ПДХ показал, что в режиме неполного обеднения наблюдается пик повышенной магниточувствительности. При номиналах нагрузочных сопротивлений 1 МОм и напряжении питания -9 В в режиме неполного обеднения по сравнению с полным обогащением максимальный магнитоиндуцированный сигнал увеличивается примерно в три раза. При пересчете разности напряжения на нагрузочных сопротивлениях Δ U в магниточувствительность удельная магниточувствительность ПДХ в режиме неполного обеднения может достигать значений порядка 10 В/А·Тл, что существенно выше, чем у полупроводниковых элементов Холла.
Михаил Александрович Королев
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Виктор Наумович Мордкович
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, г. Черноголовка, Россия
Алексей Владимирович Леонов
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, г. Черноголовка, Россия
Светлана Сергеевна Девликанова
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Поделиться