Персоналии
Статьи автора
Экпериментально исследован двухстадийный МОС-гидридный метод получения слоев GaN. Рассмотрены некоторые вопросы легирования слоев донорными и акцепторными примесями. Определены закономерности влияния технологических режимов на скорость роста, состав и функциональные характеристики квантово-размерных гетероструктур на основе GaN с множественными квантовыми ямами.
- Просмотров: 320 | Комментариев : 0
Рассмотрена процедура оптимизации получения слоев нитридов AIIIN МОС-методом с использованием рентгенодифрактометрического анализа. Установлено, что структурное совершенство слоев, оцениваемое по измерению кривых качания, коррелирует с излучательными характеристиками светодиодных структур.
- Просмотров: 303 | Комментариев : 0