Персоналии

Неустроев Степан Архипович
доктор технических наук, профессор-консультант Института перспективных материалов и технологий Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)

Статьи автора

Проблема использования алмаза в качестве диэлектрика в приборах микросхем состоит в недостаточной разрешающей способности оптических приборов контроля коэффициента преломления света и, соответственно, диэлектрической проницаемости . В работе проведено исследование фрагмента монокристаллического образца кубического углерода (разновидность алмаза) и определена его диэлектрическая проницаемость на уровне пространственной ячейки, которая представлена в гексагональной анаморфозе. Это гексагональная призма с базовыми плоскостями в виде гексагонов, в центре и углах которых располагаются атомы углерода. Значение  определено по взаимодействию зарядов центральных атомов базовых плоскостей призмы и электронов связи. Это значение для данной связи вычислено с точностью до седьмого знака после запятой и может быть использовано в практических целях.

  • Просмотров: 2075 | Комментариев : 0

Процесс получения пленок алмаза зависит от энергетического состояния частиц газовой фазы и топологии поверхности осаждения, а также от положения и вида орбиталей в тетраэдре кристалла кубического углерода. Приведена визуализация ячейки кубического углерода с -С в гексагональной анаморфозе. Визуализация выявила тетраэдры, а также положения и вид орбиталей. Орбитали выглядят плоскими, выпуклыми, замкнутыми кривыми, которые охватывают каждую пару смежных атомов. Определены параметры этих кривых. Вычисленные значения параметров орбиталей тетраэдров с -С совпадают с математическим определением эллипса. Применение модели эллиптической орбитали для вычисления распределения потенциала между смежными атомами позволит определить необходимую энергию частиц, поступающих к поверхности из пространства при осаждении пленок с -С.

  • Просмотров: 1555 | Комментариев : 0

Кубический углерод с -С (разновидность алмаза) перспективен для использования в качестве диэлектрика. Препятствующими факторами применения с -С в микроэлектронике являются экстремальные условия его формирования - давление и высокая температура, которые далеки от применяемых в производстве. При синтезе с -С прилагаемое к исходному сырью внешнее давление, а фактически сближение атомов углерода и трансформирование их электронных оболочек ведет к образованию молекулярных связей. Параметры структуры этого образования фиксируются в кристаллической решетке как отражение баланса внешней сжимающей силы и электрической (расталкивающей) силы - электронов, находящихся на орбиталях атомов. В работе приведено построение пространственной ячейки с -С (гексагональной призмы) с эллиптическими орбиталями связи атомов углерода. Описано взаимодействие зарядов - участников формирования орбитали. Рассчитана одна из связей с целью оценки давления, необходимого для сближения реагирующих атомов при образовании этой связи. Показано, что в момент сближения атомов углерода на расстояние, при котором наблюдается баланс электрических сил, расталкивающих атомы, сил сжатия, а также внешней силы, возможно образование ковалентной связи.

  • Просмотров: 1044 | Комментариев : 0

Структура кристаллов нитридов металлов (B, Al, Ga, In, Tl) представлена сомкнутыми тетраэдрами так, что «азотный» тетраэдр содержит в себе вершину «металлического», а «металлический» – вершину «азотного». Определены параметры вюрцитной и кубической сингонии, а именно положение и расстояние между атомами, радиус азота, смещение разноименных атомов от центра масс тетраэдра и др.

  • Просмотров: 247 | Комментариев : 0

Рассмотрены особенности структуры алмаза и взаимодействие его с атомами углерода газовой фазы. Выявлена причина последовательности роста трехслойной структуры кристалла кубического углерода с -С. Показано, что процесс образования слоев кристалла кубического углерода самопроизвольный.

  • Просмотров: 1349 | Комментариев : 0

Активное состояние достигается при активизации атомов углерода с использованием плазмы в жестких энергетических условиях. Доля частиц с энергией, достаточной для активизации атомов углерода, составляет небольшой процент. В работе рассмотрен результат подвода энергии к атому углерода, находящемуся в инертном состоянии. Показано, что последующие возбуждения и рекомбинация переводят атомы углерода в активное состояние с образованием ковалентных связей с другими атомами кристалла. Выявлены состояния атомов углерода и его последующих переходов в активное состояние. В результате расчета получено значение энергии связи атомов углерода, равное 17,581079 эВ.

  • Просмотров: 458 | Комментариев : 0

Исходя из энергетического баланса взаимодействия реагентов (СН и О) и продуктов (СО, НО) определена энергия связи между атомами углерода в этане как модели состояния атомов углерода в кристалле кубического углерода. Данное состояние соответствует квинтетному состоянию атомов углерода.

  • Просмотров: 1396 | Комментариев : 0

Энергетический спектр газовых частиц плазмы достаточно широк - от долей до десятков электронвольт. Частицы с необходимыми энергетическими параметрами, участвующие в синтезе кубического углерода с -С, составляют небольшой процент. Внешнее энергетическое воздействие может перевести инертный атом углерода в активное состояние, а также изменить его электронную конфигурацию. Энергия связи между атомами в кубическом углероде зависит от взаимодействия источников энергии. В работе в результате расчета получено значение энергии связи, которое сопоставлено со значением энергии связи между атомами углерода в этане. Отмечена целесообразность внешнего источника - генератора активированных атомов углерода. Установлено, что добавление в реактор ускоренных атомов углерода с энергией 9,687 эВ может повысить производительность выращивания пленок, покрытий и объемных кристаллов.

  • Просмотров: 385 | Комментариев : 0

Описан фрагмент структуры кубического углерода в гексагональной   анаморфозе, в который входят правильные тетраэдры.  Определено их положение и размеры: высота, ребро и др

  • Просмотров: 1194 | Комментариев : 0

Процесс термодеструкции алмаза представлен как последовательность стадий изменения энергосодержания при подводе и выделении энергии. Выявлена промежуточная стадия - продукт деструкции алмаза. Определены энергосодержание продукта деструкции и значение его теплоемкости, которое равно 1,188 Дж/(моль·К).

  • Просмотров: 1372 | Комментариев : 0

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru