Энергетический спектр газовых частиц плазмы достаточно широк - от долей до десятков электронвольт. Частицы с необходимыми энергетическими параметрами, участвующие в синтезе кубического углерода с -С, составляют небольшой процент. Внешнее энергетическое воздействие может перевести инертный атом углерода в активное состояние, а также изменить его электронную конфигурацию. Энергия связи между атомами в кубическом углероде зависит от взаимодействия источников энергии. В работе в результате расчета получено значение энергии связи, которое сопоставлено со значением энергии связи между атомами углерода в этане. Отмечена целесообразность внешнего источника - генератора активированных атомов углерода. Установлено, что добавление в реактор ускоренных атомов углерода с энергией 9,687 эВ может повысить производительность выращивания пленок, покрытий и объемных кристаллов.
1. Сакович Г.В., Жарков А.С., Петров Е.А. Результаты исследований физико-химических процессов детонационного синтеза и применения наноалмазов // Российские нанотехнологии. 2013. Т. 8. № 9-10. С. 11–20.
2. Твердотельный автоэмиссионный диод / В.А. Беспалов, Э.А. Ильичев, А.Е. Кулешов и др. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. № 4. С. 46–52.
3. Исследование технологий формирования наноструктурированных эмиссионных сред для сильноточной радиочастотной электроники / В.А. Беспалов, Э.А. Ильичев, Е.П. Кириленко и др. // Изв. вузов. Электроника. 2014. № 4 (108). С. 27–35.
4. Радциг А.А. Спектры атомов и молекул // Физические величины: справочник / под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. С. 794–858.
5. Неустроев С.А. Этан как модель энергетического состояния атомов в кристалле кубического углерода // Изв. вузов. Электроника. 2016. Т. 21. № 1. С. 86–87.