Energy spectrum of gas particles in plasma is broad, ranging from fractions to 10s of electron volts. Proportion of particles with required energetic parameters, participating in cubic carbon c -C synthesis, is small. External energy deposition can transfer an inert carbon atom to active state and change its electronic configuration. Binding energy of c -C atom depends on energy sources interaction. In this work, the calculations found the binding energy value that was compared with value of energy of the bond between the carbon atoms in ethane. The advisability of external source, activated carbon atoms generator, is marked. It has been established that by adding accelerated carbon atoms with energy of 9,687 eV into reactor it is possible to increase productivity of films, coatings and bulk crystals growth.
Энергетический спектр газовых частиц плазмы достаточно широк - от долей до десятков электронвольт. Частицы с необходимыми энергетическими параметрами, участвующие в синтезе кубического углерода с -С, составляют небольшой процент. Внешнее энергетическое воздействие может перевести инертный атом углерода в активное состояние, а также изменить его электронную конфигурацию. Энергия связи между атомами в кубическом углероде зависит от взаимодействия источников энергии. В работе в результате расчета получено значение энергии связи, которое сопоставлено со значением энергии связи между атомами углерода в этане. Отмечена целесообразность внешнего источника - генератора активированных атомов углерода. Установлено, что добавление в реактор ускоренных атомов углерода с энергией 9,687 эВ может повысить производительность выращивания пленок, покрытий и объемных кристаллов.