Персоналии
Главная
О журнале
Этика
Порядок рецензирования
Авторам
Новости
Выпуски
Тематический указатель статей
Индексирование
Подписка
Контакты
Поиск
Известия высших учебных заведений. Электроника: Электроника
Menu button
Известия высших учебных заведений.
Электроника
home
Главная
О журнале
Этика
Порядок рецензирования
Авторам
Новости
Выпуски
Тематический указатель статей
Индексирование
Подписка
Контакты
Поиск
Известия высших учебных заведений. Электроника
Найти
Главная
О журнале
Этика
Порядок рецензирования
Авторам
Новости
Выпуски
Тематический указатель статей
Индексирование
Подписка
Контакты
Поиск
Персоналии
Известия высших учебных заведений
Персоналии
Ширяев Максим Евгеньевич
начальник инженерно-исследовательской группы ООО «ЭСТИКА» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, Георгиевский пр-т, 5, стр. 1)
Статьи автора
Свернуть
реактивное магнетронное распыление
фазосдвигающие фотошаблоны
нитридизация
электростатический прижим
электростатическое крепежное устройство
ЭКУ
электроадгезия
плазмохимическое травление
ПХТ
пондеромоторная сила
Задать фильтры
Управление составом тонких пленок Mo-Si-N-O при реактивном магнетронном распылении
Просмотров: 133 | Комментариев : 0
Расчет пондеромоторной силы электростатического прижима монополярного типа в установке плазмохимического травления
Просмотров: 1362 | Комментариев : 0