Персоналии
Аспирант кафедры материалов и компонентов, твердотельной электроники КБГУ, г. Нальчик, Россия. Область научных интересов: наноструктурированные материалы, пористый кремний.
Статьи автора
Рассмотрена возможность применения пористого кремния при создании варикапов с большим коэффициентом перекрытия по емкости, удовлетворяющих требованиям микроэлектроники и микросистемной техники. Описана технология изготовления конденсаторных структур с применением гальванического осаждения меди в поры пористого кремния. Исследованы морфологические особенности экспериментальных структур, определена удельная емкость варикапов. Показана перспективность применения варикапов на основе пористого кремния в интегральной электронике.
- Просмотров: 1429 | Комментариев : 0