Персоналии
аспирант кафедры КФН МИЭТ, младший научный сотрудник НОЦ ЗМНТ МИЭТ. Область научных интересов: нанотехнология, зондовая микроскопия, мемристор, полимерные пленки, тонкие пленки.
Статьи автора
Изложена методика формирования наноразмерного затвора мощного СВЧ-транзистора. Определены оптимальные параметры экспонирования резистов 950-ПММА-А2 и ЭЛП-20. Исследован технологический маршрут ионно-лучевой литографии с применением многослойных резистов. Отработана технология создания непрерывной сетки заземленных знаков совмещения поверх чувствительного к ионам резиста для визуализации знаков совмещения на диэлектрической подложке методом ионной микроскопии.
- Просмотров: 1600 | Комментариев : 0